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匡尚奇; 李硕; 杨海贵; 霍同林; 周洪军;
长春理工大学理学院;
吉林长春130022;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室;
吉林长春130033;
中国科学技术大学国家同步辐射实验室;
安徽合肥230029;
多层膜设计; 极紫外; 离散化设计; 宽带多层膜;
机译:用于原子秒科学的极紫外宽带反射镜的设计与表征
机译:极紫外区带有SiC覆盖层的Mo Mo / Si多层反射镜的设计
机译:multilayer多层反射镜的设计,制造和分析,用于反射极紫外阿秒脉冲
机译:极紫外区域region线性多层反射镜的设计,用于超快应用
机译:极紫外区域中用于多层反射镜的新材料。
机译:层与层之间共价交联和反应性聚合物多层膜的制备使用二氢唑酮官能共聚物:一个平台功能生物界面的设计
机译:用于EUV(极紫外)宽视场望远镜的金属多层反射镜。
机译:在该领域中使用极紫外辐射源和光谱宽带多层反射镜的光刻技术
机译:多层膜反射镜和极紫外(EUV)曝光装置
机译:多层膜反射镜,包括其的极紫外微光刻设备以及利用其的微电子器件制造方法
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