静电驱动MOEMS保险机构的设计与试验

刘加凯

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为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构.该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信安全与解除保险的目的.设计了MOEMS保险机构的总体结构和耦合光路,并对它进行SOI+DRIE工艺设计和加工.通过开展静电微驱动器性能测试试验和光路性能测试试验得出,静电微驱动器能够实现130μm的大位移输出,MOEMS保险机构的解除保险时间和恢复保险时间分别为13 ms和5 ms,光能传输效率为46.1％.所设计的MOEMS保险机构能够满足功能要求,具备天然的抗电磁干扰能力,有效提高了引信的本征安全性.

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来源
《光学精密工程》 |2019年第2期|334-340|共7页
作者
刘加凯;
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作者单位

西安交通大学机械工程学院;

陕西西安710049;

武警工程大学装备管理与保障学院;

陕西西安710086;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类设计、计算、制图;光纤元件;
关键词
微光机电系统; 引信; 保险机构; 静电微驱动器; 光路耦合;

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