超薄石英片抛光加工胶结固持变形

周平; 王泽红; 韩晓龙; 金洙吉

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超薄石英片抛光加工胶结固持变形

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摘要

cqvip:超薄光学零件由于径厚比大,刚度低,抛光上盘时容易产生较大变形,影响其最终的面形精度。本文通过Ф50 mm×1 mm熔融石英玻璃的胶粘上盘实验,结合有限元分析,研究了不同上盘方式和固化顺序对零件变形的影响,分析了变形产生机理。研究结果表明上盘变形主要由胶层内胶黏剂先后固化顺序引起,和零件胶结面面形关联性不明显。此外,由于固化顺序的随机性,上盘变形是不对称、不规则的,没有规律可循。基于弱化固化顺序影响的思路,通过改变粘接方式,将固持变形由整面上盘的1.88μm减小到0.51μm。采用该上盘方法对熔融石英玻璃薄片进行沥青抛光加工,下盘后面形精度PV值达到0.46μm,有效地抑制了零件下盘后的面形恶化。本文研究有助于进一步揭示上盘固持变形的产生机理,并对实际超薄光学零件加工具有一定指导作用。

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来源
《光学精密工程》 |2019年第11期|2402-2409|共8页
作者
周平; 王泽红; 韩晓龙; 金洙吉;
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作者单位

大连理工大学机械工程学院辽宁大连 116000;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面精整加工、研磨、抛光;
关键词
超薄光学零件; 胶粘上盘; 面形变化; 有限元分析;

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