侵彻武器用MEMS大g值加速度计

屈新芬; 苏伟

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侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍,要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境,又能识别冲击与钻入的整个过程.美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器,其工作原理采用2个电参数完全相同的电容,1个作检测电容,1个作参考电容,将被测加速度值的变化转换成电容量的变化而实现.该加速度计由结构单元和信号处理电路组成.实验结果表明,尚需对2组成部分进一步集成,对机械静电阻尼进行优化,对封装深入研究.

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来源
《兵工自动化》 |2002年第3期|7-10|共4页
作者
屈新芬; 苏伟;
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作者单位

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

中国工程物理研究院,电子工程研究所,四川,绵阳,621900;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH824.4;
关键词
大g值加速度计; 电容传感器; 微机电系统(MEMS); 侵彻武器;

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