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刘振; 李岩;
清华大学精密仪器与机械学系;
精密测试技术及仪器国家重点实验室;
北京100084;
大量程计量型扫描显微镜; 纳米定位; 两级进给; 双伺服环控制; 数字滤波;
机译:一种重复定位,扫描隧道显微镜基于直推式压电纳米型定位器
机译:配备多壁碳纳米管束阴极的紧凑型场发射扫描电子显微镜的研制
机译:紧凑型3D扫描隧道显微镜纳米定位器,工作温度为4.2-300.0 K
机译:基于原子力显微镜的基于原子力显微镜进行监测的紧凑型纳米机械手的研制,用于使用扫描电子显微镜或倒光学显微镜进行监测
机译:设计,表征和控制用于扫描探针显微镜应用的高带宽串行运动纳米定位平台。
机译:用于长行程微/纳米定位台计量的微型均质干涉仪中激光二极管波长的实时校正和稳定化
机译:大行程范围的纳米定位系统的扫描性能
机译:用于纳米复合致动器的多模扫描探针显微镜系统
机译:扫描探针显微镜系统,用于在样品表面和计量框架上绘制纳米结构图
机译:用于在样品表面上绘制纳米结构图的扫描探针显微镜系统及其计量框架
机译:使用增强型探头定位系统的扫描探头显微镜的漂移补偿
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