采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构

郭彤; 章英; 李峰; 陈津平; 傅星; 胡小唐

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采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构

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针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中,存在测量时间长、信号利用率低等问题,本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略,并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两种具体的实现方式。本文方法能够控制测量系统仅在有干涉条纹存在的空间区域采集图像,而在其它区域加速运行,从而提高了测试效率。测量过程中,通过编写的测量软件控制纳米测量机(NMM),并利用NMM的高精度定位能力实现变速扫描。实验测试了一个100μm台阶结构,相对传统固定步长扫描法,变速扫描在保持高精度的基础上提高了测量效率。

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来源
《光电子．激光》 |2012年第8期|1529-1534|共6页
作者
郭彤; 章英; 李峰; 陈津平; 傅星; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

天津300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH741.4;
关键词
白光干涉术; 大尺度台阶; 变速扫描; 纳米测量机(NMM); 自动对焦;

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