基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量

郭彤; 王瑞杰; 马龙; 陈津平; 傅星; 胡小唐

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基于白光扫描干涉术的厚膜几何参数测量

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提出了一种结合白光扫描干涉术与图像分割技术的薄膜自动测量方法,可以同时得到薄膜的上下表面形貌以及厚度等几何参数。测试系统集成了Mirau干涉物镜,通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当薄膜厚度足够时,扫描所得信号会含有两组可分离的干涉条纹,利用Otsu方法实现双峰信号的自动分离。标准膜厚的测量实验表明,本文方法可以以nm级分辨力对符合可测条件的薄膜几何参数进行有效提取。

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来源
《光电子．激光》 |2011年第9期|1380-1383|共4页
作者
郭彤; 王瑞杰; 马龙; 陈津平; 傅星; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

天津300072;

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正文语种 chi
中图分类 TH741.4;
关键词
白光扫描干涉术; Otsu方法; 阈值; 表面形貌; 标准膜厚;

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