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基于白光干涉无重叠拼接的微结构表征方法

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针对白光干涉技术(WLI)应用于大范围测量时图像重叠拼接会引入误差并降低测量效率这一缺欠,本文基于纳米测量机(NMM)提出了一种无重叠拼接的白光干涉测试方法。利用NMM的高精度定位能力,扩展了普通白光干涉仪的测量范围,实现了对微结构近4倍于CCD视场的大范围测量,验证了无重叠图像拼接的可实现性。

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来源
《光电子．激光》 |2010年第7期|1048-1052|共5页
作者
郭彤; 袁方; 高顺民; 马龙; 傅星; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

天津300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
微结构; 白光干涉技术(WLI); 无重叠图像拼接; 大范围; 纳米测量机;

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