一种新型透明导电氧化物薄膜—ITO∶Ta

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• 来源
  《光电子．激光》 |2010年第1期|59-62|共4页
• 作者

  张波; 于波; 徐晓峰; 赵培;

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• 作者单位

  常州机电职业技术学院;

  常州213164;

  东华大学理学院;

  上海200051;

  中国科学院上海技术物理研究所;

  上海200083;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的性质;
• 关键词

  薄膜; 磁控溅射; 衬底温度; 光学禁带宽度;