AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量

罗乐; 秦娟娟; 孙伟; 方晓东; 严中亚

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AIB用于改进PLD沉积在机械瓣膜上的类金刚石膜的质量

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用脉冲激光沉积(PLD)法在热解C制作的人工心脏机械瓣膜上沉积类金刚石(DLC)薄膜,并用3KeV的氩离子轰击(AIB)DLC薄膜。采用拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分别对AIB前后的DLC薄膜进行检测分析,用光学显微镜观察AIB前后的DLC薄膜表面。实验结果表明:AIB不影响薄膜的黏附性。但是可以在一定程度上导致薄膜微观结构的变化和sp3/sp2比值的提高,可以在薄膜中掺杂微量的Ar元素,可以有效消除薄膜表面吸附的O,但对薄膜中C-O、C=O和COOH的影响较小。因此,离子轰击法可以作为一种改进类金刚石薄膜质量的方法。

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来源
《光电子．激光》 |2010年第5期|695-698|共4页
作者
罗乐; 秦娟娟; 孙伟; 方晓东; 严中亚;
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作者单位

合肥工业大学电子科学与应用物理学院;

安徽合肥230009;

中国科学院安徽光学精密机械研究所;

安徽合肥230031;

安徽省立医院胸心外科;

安徽合肥230001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类激光的应用;
关键词
脉冲激光沉积法(PLD); 类金刚石(DLC)膜; 人工心脏机械瓣膜; 氩离子轰击(AIB); 微观结构;

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