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微透镜和高Tc超导红外探测器组件

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本文首次报道了利用微透镜阵列来提高ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的光响应特性，介绍了利用光刻／离子束刻蚀的方法制作单片线列石英微透阵列的工艺以及制备线列ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜红外探测器的方法，并将所制的石英微透镜阵列应用于ＹＢＣＯ超导器件。

著录项

来源
《光电子．激光》 |1998年第1期|21-22|共2页
作者
张新宇; 易新建;
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作者单位

华中理工大学光电子工程系;

华中理工大学光电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN215.03;
关键词
石英微透镜; YBCO; 红外探测器; 超导器件; 结构;

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