GaAs波导型光开关列阵的研究

王明华

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＜正＞本项目从各种光开关单元的研究入手,综合单元器件的性能、制造工艺、所需材料等项指标,反复比较决定所用光开关单元的形式。根据实验室的条件对器件的制作工艺进行了研究,完成了GaAsl×4光开关列阵研究工作。研究内容和研究成果 1.顺利完成光开关单元器件研究。作为高速光开关单元器件,必须具有较高的消光比,较高的开关速率和较低的开关电压,同时制作工艺要简单,能与半导体平面工艺技术相容等项要求。申请者长期与东京大学合作从事定向耦合器型光开关/光调制器的研究,并完成了GaAs对称耦合（BOA）型光开关研究（B6876005,1991年完成）。在本项目中着重研究了

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来源
《光电子．激光》 |1997年第s1期|37+42-37+42|共1页
作者
王明华;
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作者单位

浙江大学杭州 310027;

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正文语种 chi
中图分类光波导;
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