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脉冲激光等离子体合成SiC陶瓷粉末过程研究

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本文用强ＴＥＡＣＯ２脉冲激光诱发ＳｉＨ４＋ＣＨ４等离子体化学气相反应制备出纳来ＳｉＣ陶瓷粉末，分析并讨论了制备粉末材料的实验过程，得到了粉末合成的最佳工艺条件。

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来源
《光电子．激光》 |1994年第5期|290-295|共6页
作者
傅广生; 于威;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TQ174.758;
关键词
碳化硅; 陶瓷粉末; 脉冲激光; 等离子体; 合成;

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