迈克尔逊干涉型加速度地震检波器集成芯片

吴波; 陈才和; 丁桂兰; 崔宇明

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迈克尔逊干涉型加速度地震检波器集成芯片

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提出了一种新型的迈克尔逊干涉型混合集成光学加速度地震检波器。以尺寸为38mm×6mm×2mm的X切Y传LiNbO3晶体为基底,详细分析并设计了迈克尔逊干涉芯片的双Y分支波导、相位调制器和偏振器。对成功制作的迈克尔逊干涉芯片进行了通光测试,并对检测器进行了测试。结果表明,检波器及芯片性能良好,振动与检波器输出信号吻合良好。该检波器系统的主要设计参数为:自然频率3549Hz,相位检测灵敏度ΔΦ/a为1.1×10-2rad/m/s2,工作频带0～1065Hz。

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来源
《光电子．激光》 |2003年第8期|791-794|共4页
作者
吴波; 陈才和; 丁桂兰; 崔宇明;
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作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP211.6;
关键词
迈克尔逊干涉; 混合集成光学; 加速度地震检波器; LiNbO3晶体; 集成芯片;

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