复杂微结构三维形貌测量方法的研究

胡春光; 胡晓东; 徐临燕; 郭彤; 胡小唐

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复杂微结构三维形貌测量方法的研究

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微结构三维形貌测量是研究微加工工艺和微尺寸特性的重要测试内容。本文提出一种基于相移显微干涉术、利用干涉图建立二维结构模板指导相位展开的新方法,它不仅适用于静态测量,而且能应用于在动态测量中,特别是微机电系统(MEMS)器件的运动测量。以微谐振器为测试器件,对其运动梳齿结构进行了静态三维形貌测量,实验的离面理论测量精度优于0.5 nm,测试结构内部的面内理论测量精度优于0.5μm,而边缘尺寸因受到边缘提取方法的影响,其测量精度仅在μm量级。对该方法的缺点和发展方向做了探讨。

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来源
《光电子．激光》 |2006年第1期|98-101|共4页
作者
胡春光; 胡晓东; 徐临燕; 郭彤; 胡小唐;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
微结构; 三维形貌测量; 相移显微干涉术; 二维结构模板; 生长算法;

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