用于二元光学器件制作的激光直写系统

魏国军; 邵洁; 周小红; 陈林森

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用于二元光学器件制作的激光直写系统

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通过双远心成像光路,激光直写(LDW)系统SVG-LDW 04把液晶空间光调制器(LCD-SLM)上的光斑直接成像在光刻胶板上,得到高质量的光斑图形。放置在SLM的共轭面上的CCD成像调焦装置能够实时地在监控像面质量。控制SLM的输入图形、曝光量(刻蚀深度)及系统的运行方式,LDW系统能够制作不同特性的二元衍射光学元件。给出了典型的(2台阶、4台阶)位相衍射器件制作的实验结果。

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来源
《光电子．激光》 |2006年第10期|1212-1215|共4页
作者
魏国军; 邵洁; 周小红; 陈林森;
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作者单位

苏州大学信息光学工程研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
激光直写(LDW); 二元光学; 衍射;

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