用于激光直写灰度掩模的二元金属薄膜的制备及光学性质

著录项

• 来源
  《真空与低温》 |2009年第1期|1-4|共4页
• 作者

  马锋; 王多书; 罗崇泰; 叶自煜; 刘宏开; 王济州;

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• 作者单位

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

  兰州物理研究所,表面工程技术国家级重点实验室,甘肃,兰州,730000;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 红外光学器件;
• 关键词

  二元金属薄膜; 磁控溅射; 激光直写; 灰度掩模;