机译:二元衍射掩模作为光束整形元件,可直接应用于大角度灰度元件制造中
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机译:通过在高能射线敏感玻璃上使用带有灰度掩模的单次曝光,以高成本效益的方式制造多层衍射光学元件
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机译:用LDW玻璃制作灰度掩模和衍射光学元件
机译:掩模制造及其在极端紫外衍射光学中的应用
机译:高效耐制造误差的平面太赫兹衍射光学元件的计算设计框架
机译:具有高分辨率的衍射光学器件的接触掩模元件的激光消融钼的薄膜
机译:X射线光刻的新应用:具有深相分布的闪耀差分光学元件的制造