SOI基光学电流传感器的设计与仿真

赵本刚; 刘玉菲; 穆参军; 徐静; 吴亚明

首页> 中文期刊> 《光电子．激光》 >SOI基光学电流传感器的设计与仿真

SOI基光学电流传感器的设计与仿真

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

将光纤与微电了机械系统（MEMS）技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器（OCS）。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性，并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明：ANSYS与理论公式得到的结果基本一致；传感器的量程为100～3600A，对于大电流下的灵敏度可达到0.02dB／A，温度变化±50K时传感器相应的测试误差为0．2％。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2006年第12期|1447-1452|共6页
作者
赵本刚; 刘玉菲; 穆参军; 徐静; 吴亚明;
展开▼
作者单位

中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微电子机械系统(MEMS); 光学电流传感器(OCS); 绝缘体上的Si(SOI); 扭转微镜; 温度补偿;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种新型光学电流传感器结构设计与仿真研究 [J] . . 湖南电力 . 2015,第004期
2. SOI基高响应度TFET探测器的设计与仿真 [J] . 王雪飞 ,谢生 ,毛陆虹 . 光子学报 . 2019,第12期
3. 一种基于COMSOL的螺线管聚磁式光学电流传感器设计 [J] . 孔祥琦1 ,刘凯欣1 ,马骥超2 . 光电子 . 2019,第003期
4. 基于光学电流传感器DTU的设计与开发研究 [J] . 王慧文 ,孙晓娟 ,王恩泽 . 黑龙江科学 . 2019,第006期
5. 基于偏磁薄膜矫正的直流光学电流传感器设计 [J] . 雷文锋 ,马跃 . 传感器与微系统 . 2014,第012期
6. 一种新型光学电流传感器结构设计与仿真研究 [C] . WAN Dai ,万代 ,ZHONG Lisheng . 第七届海峡论坛·2015海峡两岸智能电网暨清洁能源技术研讨会 . 2015
7. 基于SOI的光学传感器的研究 [A] . 高亮 . 2014

SOI基光学电流传感器的设计与仿真

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅