脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量

王小林; 王昱林; 徐攀; 叶玉堂; 吴云峰; 刘霖; 范超; 焦世龙

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脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量

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针对大功率脉冲激光微细加工区域工作激光对辐射测温的影响,提出在周期脉冲激光的间隙内提取温度信号的新方法,应用采样保持原理,研制相应的测量系统,通过温度定标,从A/D采样值直接读取温度值。结果表明,该温度测量系统能有效地消除工作激光对温度测量的干扰,准确地测量曝光区域的温度,在温度为500℃左右时,系统的温度分辨能力可达0.03℃,能满足激光扩散、激光合金等工艺要求。

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来源
《光电子．激光》 |2007年第9期|1096-1099|共4页
作者
王小林; 王昱林; 徐攀; 叶玉堂; 吴云峰; 刘霖; 范超; 焦世龙;
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作者单位

电子科技大学光电信息学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光检测技术;
关键词
脉冲激光微细加工; 红外辐射测量; 不接触温度测量; 采样保持;

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