摘要：利用皮秒激光加工不锈钢,采用激光共聚焦显微镜对加工后形貌和质量进行观察与表征,研究激光能量密度和扫描速度对孔形貌与质量的影响,以及激光束与工件夹角对锥度的影响.结果表明,随着能量密度的增大,皮秒激光加工的热影响越大,孔径增大,锥度会减小且孔入口圆度降低,孔出口圆度随着能量密度增大而增大,然后趋于稳定,最后又会下降.扫描速度对于孔入口处的孔径及其圆度都不会产生影响,圆度保证在98％左右,随着扫描速度增加,出口处的孔径先减小后趋于稳定,锥度增大后稳定在4°左右,出口处的圆度增大后稳定在97％～98％.锥度实际值与工件旋转角度呈非线性关系并给出了函数表达式.
