纳米金刚石薄膜的制备

杨保和; 崔建; 熊瑛; 陈希明; 孙大智; 李翠平

首页> 中文期刊> 《光电子．激光》 >纳米金刚石薄膜的制备

纳米金刚石薄膜的制备

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我们分析了薄膜的表面形貌和结构特征。该薄膜平均粒径约为20 nm。X射线衍射谱分析表明该薄膜具有立方相对称(111)择优取向金刚石结构。在该薄膜一阶微显微拉曼光谱中,1332 cm-1附近微晶金刚石的一阶特征拉曼峰减弱消失,可明显观测到的三个拉曼散射峰分别位于1147 cm-1、1364 cm-1和1538 cm-1,与己报导的纳米金刚石拉曼光谱类似。该方法可制备出粒径约为20 nm粒度分布均匀致密具有较高含量的sp3键的纳米金刚石薄膜。

著录项

来源
《光电子．激光》 |2008年第5期|625-627|共3页
作者
杨保和; 崔建; 熊瑛; 陈希明; 孙大智; 李翠平;
展开▼
作者单位

天津理工大学光电信息与电子工程系;

薄膜电子与通信器件天津市重点实验室;

天津300191;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
纳米金刚石薄膜; 微波等离子体化学气相沉积;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 金刚石纳米粉引晶方法制备金刚石薄膜方法 [J] . 陈庆东 ,杨传径 ,王辉 . 河南科技大学学报（自然科学版） . 2010,第002期
2. 利用金刚石纳米粉引晶方法制备高硼掺杂金刚石薄膜 [J] . 杨传径 ,陈庆东 ,杜凯 . 河南科技大学学报（自然科学版） . 2009,第003期
3. 微波等离子体化学气相沉积方法制备纳米金刚石薄膜 [J] . 林晨 ,李义锋 ,张锦文 . 功能材料 . 2021,第007期
4. 纳米金刚石薄膜的制备与应用综述 [J] . 李育凌 . 科技风 . 2019,第005期
5. 掺氮超纳米金刚石薄膜制备及其电化学性能 [J] . 彭小兰 ,邹佳秀 ,李海宁 . 西南科技大学学报 . 2017,第003期
6. 掺氮纳米金刚石薄膜制备及电学性能研究 [C] . 王明磊 ,姚磊 ,薛长山 . 第七届中国功能材料及其应用学术会议 . 2010
7. 纳米金刚石薄膜和p型金刚石薄膜的制备和性能研究 [A] . 张衡 . 2006

纳米金刚石薄膜的制备

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅