基于相关检测的平面镜摆动姿态在线测量仪

钱建强; 惠梅; 王东生

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基于相关检测的平面镜摆动姿态在线测量仪

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介绍一种用于在线测量平面镜摆动姿态的方法及装置。装置采用四象限硅光电探测器为检测元件测量平面镜的摆动姿态,测量原理简单;测量装置以交流调制电路驱动半导体激光器的输出,采用偏振分光的光学系统,并利用相关检测的信号处理方式,有效消除了直流信号漂移的影响,具有较高的测量稳定性;分析了光斑形状及大小对测试结果的影响,研制了专门的标定装置;角度测量范围±30',测量精度优于0.5";测量传输器小巧、简单,可以很方便地应用于科学实验和工业测量中,实现平面镜摆动姿态的在线测量。

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来源
《光电子．激光》 |2004年第8期|917-920|共4页
作者
钱建强; 惠梅; 王东生;
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作者单位

清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体激光器;物理;
关键词
相关检测; 调制电路; 半导体激光器; 光电探测器; 信号处理; 分光; 传输; 平面镜; 摆动; 姿态;

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