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郭群超; 韩晓艳; 孙建; 魏长春; 王辉; 陈飞; 张晓丹; 赵颖; 耿新华;
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所;
光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;
光电信息技术科学教育部重点实验室;
反应气体流量; 高速沉积; 微晶硅(μc-Si)太阳电池; 超高频;
机译:通过热线化学气相沉积制备的微晶硅的沉积:沉积参数对材料性能和太阳能电池性能的影响
机译:沉积参数对大面积高速率沉积中微晶硅单结电池效率的影响
机译:总气体流量对高速率沉积微晶硅硅太阳能电池性能的影响
机译:沉积条件对氢化非晶硅和硅锗合金(太阳能电池,薄膜晶体管)的结构,光电和器件性能的影响。
机译:SiNx阻挡层对聚酰亚胺Ga2O3掺杂的ZnO p-i-n氢化非晶硅薄膜太阳能电池性能的影响
机译:微晶硅基太阳能电池和模块先进沉积技术的发展:最终技术报告,2002年5月1日至2004年7月31日
机译:包含导电衬底的存储器件,其上沉积有非晶或微晶硅碳合金层和非晶或微晶含硅材料层
机译:微晶硅,微晶硅制造方法以及由所述微晶硅提供的太阳能电池
机译:用于进行至少一个本征微晶或纳米晶硅层的沉积的方法和装置,以及进行该过程所获得的薄层光伏电池和晶体管
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