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吕俊峰; 张静娟; 梁文锡;
中科院研究生院;
衍射光学元件; 刻蚀; 砷化镓;
机译:InGaAs / GaAs单量子阱中基于2D激子共振的光谱选择衍射光学元件
机译:使用基于GaAs的VCSEL和衍射光学元件的4 / spl次/ 4扇出点发生器
机译:均匀照明衍射光学元件的衍射光学元件设计,均匀照明无零级效应
机译:使用液晶显示器分析在光敏聚合物材料上产生的衍射光学元件
机译:用于衍射光学元件的聚合物分散液晶材料的全息图样
机译:用于锐利衍射光学元件记录的纳米结构光敏聚合物的衍射和干涉表征
机译:用于光学数据存储的光敏聚合物与记录在光敏聚合物上的凸版衍射光学元件的比较
机译:使用电子束光刻在非平坦基板上的衍射光学元件
机译:制备衍射光学元件的方法,以及用于制造衍射光学元件的模具,以及由制造衍射光学元件的方法和光学系统制造的衍射光学元件,以及应用该衍射方法的光学装置和装置,
机译:-根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
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