被测物离焦状态对共焦显微系统横向分辨特性的影响

赵维谦; 邱丽荣; 丁雪梅; 谭久彬

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被测物离焦状态对共焦显微系统横向分辨特性的影响

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分析了被测物离焦状态对共焦显微系统(CMS)分辨特性的作用机理,指出了离焦状态是影响CMS横向分辨特性下降的主要影响因素,进而提出采用基于环形光瞳滤波技术的二元光学整形环形技术,来改善其离焦状态下的横向分辨特性。理论分析和实验验证表明:环形光瞳滤波技术的采用,显著抑制了CMS由于被测物离焦状态引起的艾里斑旁瓣的增长,克服了CMS因离焦状态而引起的横向分辨特性下降的缺点。

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来源
《光电子．激光》 |2004年第8期|963-966|共4页
作者
赵维谦; 邱丽荣; 丁雪梅; 谭久彬;
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作者单位

哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类图像信号处理;电声技术和语音信号处理;
关键词
离焦; 分辨特性; 共焦显微; 微系统; 旁瓣; 滤波技术; 状态; 横向; 影响; 抑制;

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