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基于多分辨分析的集成元件管脚微位移检测

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摘要

由于电子集成元件的管脚朝着多且细的方向发展 ,管脚偏移检测要求提高 ,一般的检测方法不能满足这样高的精度。本文研究了采用光电自动快速检测大尺寸、多管脚集成块管脚位置微偏移的方法 ,提出了基于多分辨分析 (MRA)的微位移的检测技术 ,达到亚像素的检测精度 ,具有良好的可靠性。

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来源
《光电子．激光》 |2001年第11期|1147-1151|共5页
作者
李鹏; 方志良; 刘福来; 赵鹏; 母国光;
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作者单位

南开大学现代光学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;
关键词
多分辨分析; 微位移检测; 集成电路;

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