光流技术在微结构平面微运动测量中的应*用

金翠云; 靳世久; 栗大超; 胡晓东; 王建林

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光流技术在微结构平面微运动测量中的应*用

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在经典的Horn-Schunck光流算法的基础上,根据微机电系统(MEMS)微结构的运动特性,引入标号场,提出基于标号场和邻域优化法相结合的光流算法对微结构的运动序列图像做运动估计。利用光学测量方法,开发了测试系统,能使微结构的运动可视化。系统包括:利用光学显微镜来实现微结构的放大,并将图像投影到CCD摄像机上;基于频闪成像原理来冻结微结构的高速运动状态,获取一系列动态图像序列;基于提出的标号场和邻域优化法相结合的光流算法对微结构的运动序列图像做运动估计,获取其重要动态特性参数。该方法具有非接触、高测量精度的特点。实验结果表明,该方法的测量重复性达40 nm。

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来源
《光电子．激光》 |2007年第11期|1359-1362|共4页
作者
金翠云; 靳世久; 栗大超; 胡晓东; 王建林;
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作者单位

北京化工大学信息科学与技术学院;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类多媒体技术与多媒体计算机;
关键词
微机电系统(MEMS); 微运动; 频闪成像; 光流; 动态特性;

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