微形貌观测镜变焦系统的设计

刘娜; 张红霞; 张以谟; 井文才; 李朝辉; 周革

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提出的微型变倍微形貌观测镜光学系统是以微型内窥观测系统作为整个系统的前固定组、以变倍组和补偿组构成双组元全动型变倍系统,以CCD作为固定像平面的观测系统。利用高斯光学计算公式建立了系统的数学模型,计算了变焦透镜组的运动曲线。选定了该系统初始结构,进行了像差优化计算,给出了像差曲线和最终的设计数据,符合像差要求。该系统具有3种应用形式,整个系统是连续变倍内窥式微形貌观测镜,其前固定组是内窥式微形貌观测镜,其变倍系统是连续变倍微形貌观测镜。变焦范围6×～16×,分辨最小细节可达2.5μm左右。

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来源
《光电子．激光》 |2004年第3期|270-274|共5页
作者
刘娜; 张红霞; 张以谟; 井文才; 李朝辉; 周革;
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作者单位

天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术科学教育部重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类几何光学;
关键词
微形貌观测; 变焦系统; 非接触测量; 内窥镜; 变焦距镜头; 数学模型; 像差曲线;

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