带有Bragg反射镜的谐振腔增强型Si光电探测器

李成; 赖虹凯; 陈松岩; 王启明

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带有Bragg反射镜的谐振腔增强型Si光电探测器

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采用电子束蒸发和键合技术,制作了具有高反射率的、表面为薄层单晶Si的分布Bragg反射器。用标准光刻工艺在单晶Si薄层上制作出窄带谐振腔增强型(RCE)金属-半导体-金属(MSM)光电探测器,响应峰值波长分别在836、900、965和1 030 nm处,其中在900 nm处峰值半高宽为18 nm。该器件具有波长选择特性,可有效抑制相邻频道间的串扰,而且容易制成集成面阵。

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来源
《光电子．激光》 |2006年第1期|62-64|共3页
作者
李成; 赖虹凯; 陈松岩; 王启明;
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作者单位

厦门大学物理系半导体光电子学研究中心;

中国科学院半导体研究所;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
Si光电探测器; 谐振腔; 键合;

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