基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器

黄辉; 王兴妍; 王琦; 黄永清; 任晓敏; 高俊华; 张胜利; 刘宇; 祝宁华; 马骁宇; 杨晓红; 吴荣汉

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报道了一种长波长的 In P基谐振腔 (RCE)光电探测器 .采用选择性湿法刻蚀 ,制备出基于 In P/空气隙的分布布拉格反射镜 ,并将该结构的反射镜引入 RCE光电探测器 .制备的器件在波长 1.5 10 μm处获得了约 5 9%的峰值量子效率 ,以及 8GHz的 3d B响应带宽 ,其中器件的台面面积为 5 0 μm× 5 0 μm.

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来源
《半导体学报》 |2004年第2期|170-173|共4页
作者
黄辉; 王兴妍; 王琦; 黄永清; 任晓敏; 高俊华; 张胜利; 刘宇; 祝宁华; 马骁宇; 杨晓红; 吴荣汉;
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作者单位

北京邮电大学光通信中心;

中国科学院半导体研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类红外探测、红外探测器;
关键词
谐振腔增强型光电探测器; 长波长; 空气隙; 选择性湿法刻蚀;

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