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基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器

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采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器。该滤波器的通光孔直径约为70μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm。并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响。

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来源
《半导体光电》 |2006年第5期|543-546|共4页
作者
侯识华; 孙捷; 毛容伟; 吴旭明; 马骁宇; 谭满清; 陈良惠;
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作者单位

华南理工大学物理科学与技术学院;

中国科学院半导体研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
可调谐滤波器; InP/空气隙; 分布布拉格反射镜; Fabry-Perot; 表面微机械技术;

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