ZnO·TiO_(2)双层复合薄膜的制备及其光学性能的研究

蔺冬雪; 赵莉; 王媛媛; 王玉新

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ZnO·TiO_(2)双层复合薄膜的制备及其光学性能的研究

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采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),分别以乙酸锌(Zn(CH_(3)COO)_(2)H_(2)O)、钛酸酊酯(Ti(OC_(4)H9)_(4))为锌源和钛源,在玻璃衬底以及硅衬底上制备了不同浓度的、均匀的、结晶质量良好的单层ZnO、TiO_(2)薄膜及双层的ZnO·TiO_(2)复合薄膜。结果表明,所制备的单层本征ZnO、TiO_(2)薄膜分别沿(002)、(101)晶面生长,且当本征ZnO、TiO_(2)的浓度分别为0.45 mol/L、0.65 mol/L时,择优取向生长最明显。ZnO·TiO_(2)复合薄膜的(101)、(004)特征峰明显,且0.45 mol/L/0.55 mol/L的双层ZnO·TiO_(2)复合薄膜结晶质量最好;薄膜表面最为平整,粒子分布均匀,粘连现象最少;对紫外光的吸收最强,禁带宽度为3.39 eV。

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来源
《大学物理实验》 |2022年第1期|25-29|共5页
作者
蔺冬雪; 赵莉; 王媛媛; 王玉新;
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作者单位

辽宁师范大学物理与电子技术学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
ZNO薄膜; TiO_(2)薄膜; 溶胶-凝胶法; 双层复合薄膜; 光学性能;

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