实验室大口径反射镜面形检测的质量控制

易聪之; 全旭松

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神光-Ⅲ主机装置中大口径光学元件的面形检测的质量控制对激光打靶精度有直接的影响.基于近红外大口径相移平面干涉仪测量反射镜面形为探讨对象,阐述实验室反射镜面形检测过程中的实验室环境控制、人员控制、面形检测仪器设备的使用、校准及维护、光学元件反射镜后期质量控制等因素,并分析各因素对检测数据的精确性、可靠性的影响,为后续光学元件面形检测提供借鉴与参考.

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来源
《设备管理与维修》 |2016年第11期|22-24|共3页
作者
易聪之; 全旭松;
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作者单位

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳 621900;

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正文语种 chi
中图分类工厂设备及安装;
关键词
大口径反射镜; 面形检测; 质量控制;

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