P型SiC欧姆接触高温可靠性的研究进展

赵晨光; 刘肃; 姜岩峰

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介绍了P型碳化硅(SiC)欧姆接触在高温应用时的可靠性问题.首先,对在P型SiC上实现欧姆接触的工艺方法进行了综述,讨论了如何克服费米钉扎等关键问题;其次,在了解如何实现欧姆接触工艺的基础上,研究了影响该材料高温稳定工作的原因.从材料、工艺两方面总结了如何提高接触可靠性的方法,并尝试性提出了改进思路.

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来源
《电力电子技术》 |2007年第6期|99-101|共3页
作者
赵晨光; 刘肃; 姜岩峰;
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作者单位

兰州大学,甘肃,兰州,730000;

北方工业大学,北京,100041;

兰州大学,甘肃,兰州,730000;

北方工业大学,北京,100041;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN31/387;
关键词
电力半导体器件; 碳化硅; 可靠性/欧姆接触; 高温可靠性;

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