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MEMS加速计; 超薄; 意法半导体; ST; 产品设计; 高稳定性; 数字式; 器件;
机译:Memsstar推出下一代MEMS蚀刻和沉积设备
机译:新型面外MEMS隧道加速计
机译:超薄碳基薄膜和MoST薄膜的纳米机械和纳米摩擦学测试,可提高MEMS耐久性
机译:智能三轴兼容(StAC)互连:基于超高密度MEMS的晶片级超薄模叠技术的互连
机译:用于柔性MEMS传感器的超薄氮化铝膜。
机译:具有Bi2Te3 /(PtAu)多层和Sb2Te3腿的超薄MEMS热电发生器
机译:为加速计横轴灵敏度补偿/КомпенсацияпоперечнойчувствительностиМЭМСакселерометровспомощьютестированиястатичногоугланаклона,проведенногов24ехпозициях/ Kompenzacijapoprečneosetljivosti mEms akcelerometra metodom倾斜种皮ù24 pozicije二十四个位置倾斜试验
机译:sTs-78任务加速测量总结报告。 1996年6月20日推出
机译:MEMS隧道加速计
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