离子束溅射制备Co/Pt多层膜的结构

吴隽; 张永俐

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采用高角Ｘ射线衍射（ＨＸＲＤ）和ＴＥＭ研究离子束溅射（ＩＢＳＤ）技术制备的Ｃｏ／Ｐｔ多层膜的晶体结构和显微组织形貌，结果表明：Ｃｏ／Ｐｔ多层膜的晶体结构与Ｃｏ，Ｐｔ层厚度ｔｃｏｔｐｔ密切相关，当ｔｃｏ〈ｔｐｔ〈２１．０Ａ时，Ｃｏ，Ｐｔ层为共格ｆｃｃ结构，随ｔｃｏ，ｔｐｔ增加，逐渐向非共格关系转变，同时，Ｐｔ，Ｃｏ层晶格发生发严重畸变，ＴＥＭ发现Ｃｏ／Ｐｔ多层膜的组织形貌明显受基底影响，与沉积在Ｓｉ

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来源
《贵金属》 |1998年第3期|10-15|共6页
作者
吴隽; 张永俐;
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作者单位

贵金属研究所;

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正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
多层膜; 晶体结构; 磁光效应; 离子束溅射; 钴; 铂;

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