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可变电容压力测量技术

     

摘要

从电容式压力传感器的结构、环境适应性、介质相容性、产品性能及测量范围等方面,较全面阐述可变电容压力测量技术的特点。并以国外典型产品为例,说明该类传感器在很宽的压力测量范围(0~25Pa至0~70MPa)内能以百万分之一的高分辨率实现高精度测量。

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