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许效红; 侯云; 王民; 王弘; 周爱秋;
山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;
山东大学化学与环境科学学院,济南,250100;
金属β-二酮化合物; 金属有机化学气相沉积; 铁电薄膜;
机译:MOCVD方法,金属有机化合物对用于ALD法的铁电薄膜形成的进展
机译:MOCVD法形成功能性氧化物薄膜的有机金属化合物的开发进展
机译:MOCVD方法形成官能氧化物薄膜的有机金属化合物显性的进展
机译:β-二酮酸酯为前驱体,通过低压金属有机化学气相沉积(MOCVD)法生长的氧化RB和氧化ADO高K介电薄膜的比较研究
机译:通过固体源金属有机化学气相沉积法生长的外延氧化物薄膜。
机译:通过原位光谱椭圆偏振法在金属氧化物薄膜的等离子体增强原子层沉积过程中发现前体-表面相互作用
机译:MOCVD法沉积TiO2薄膜的生长参数的影响MOCVD法沉积的TiO2薄膜的生长参数的影响
机译:用于铁电和中价金属氧化物薄膜生长的新型化学前体
机译:MoCVD用于生长异金属氧化物薄膜的前体
机译:通过MOCVD生长异金属氧化物薄膜的前体
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