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陈琦; 钟君;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;
中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,江苏苏州215163;
压电陶瓷; 纳米定位; 气浮导轨; 激光干涉仪;
机译:基于激光指示器的干涉仪,用于微动量的远程测量
机译:纳米精度八通双频激光干涉仪的研究
机译:基于双频激光干涉仪的曲率半径测量方法
机译:纳米定位台双频激光干涉仪的性能评估与改进
机译:使用轴承微动试验台研究脆性材料中的赫兹锥裂纹和轴承微动磨损的实验研究。
机译:用于长行程微/纳米定位台计量的微型均质干涉仪中激光二极管波长的实时校正和稳定化
机译:基于地下的激光干涉仪的超稳定性能 引力波观测台
机译:基于DLC的功能梯度纳米复合涂层的滑动磨损和微动磨损
机译:基于运动比较的双频激光干涉仪信号高倍频细分系统
机译:载物台控制器和曝光方法,其中基于第一和第二激光干涉仪的位置测量来控制载物台的位置
机译:双频外差激光路径测量装置距离,具有光导体和信号线,用于电子信号将激光和/或激光信号从电子单元传输到干涉仪单元
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