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低温半导体机械传感器

         

摘要

根据硅和锗体微晶形成的半导体在-100℃-20℃的温度区间内电与压敏电阻特性关系,半导体微晶体压敏电阻特性而研制的机械传感器可以应用于低温下相应的技术数据测量方面:高灵敏度的应变计,低温设备的压力传感器.

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