基于自由式Hopkinson压杆技术的MEMS动态力学性能研究

李才华; 邓琼; 齐伟

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基于自由式Hopkinson压杆技术的MEMS动态力学性能研究

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采用自由式Hopkinson压杆技术对MEMS试样进行高过载冲击试验,讨论了在不同过载加速度峰值和不同脉宽下MEMS试样的动态力学性能响应.研究表明,MEMS试样的破坏不仅与过载加速度峰值有关,还与脉宽有关.如脉宽约为90μs时,试样破碎的临界过载加速度峰值是34 000 g;脉宽约为170 μs时,破碎的临界过载加速度峰值是12 000 g.通过计算冲击能量值,发现使试样破碎的冲击能量阈值是28 J.电镜扫描观测冲击后的试样,发现其主要失效模式是结构的整体性破碎.

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来源
《科学技术与工程》 |2014年第17期|21-2531|共6页
作者
李才华; 邓琼; 齐伟;
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作者单位

西北工业大学航空学院,西安710072;

西北工业大学航空学院,西安710072;

西北工业大学航空学院,西安710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
MEMS; 高过载; Hopkinson压杆; 冲击能量; 失效模式;

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