RF磁控溅射微波介质陶瓷薄膜的影响因素及其应用

著录项

• 来源
  《科学技术与工程》 |2008年第7期|1741-1747|共7页
• 作者

  崔传文; 石锋; 李玉国; 张月甫; 张敬尧;

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• 作者单位

  山东师范大学,物理与电子学院,济南,250014;

  山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;

  山东师范大学,物理与电子学院,济南,250014;

  山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;

  山东师范大学,物理与电子学院,济南,250014;

  山东师范大学,物理与电子学院,济南,250014;

  山东师范大学,物理与电子学院,济南,250014;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 层介质膜;
• 关键词

  RF磁控溅射; 微波介质陶瓷薄膜; 影响因素;