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Al_2O_3陶瓷基体温度传感器的激光精密加工技术研究

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摘要

为了掌握采用激光精密加工技术加工Al2O3陶瓷基体温度传感器的最佳工艺参数,文中采用声光调QNd:YAG激光划片机加工Al2O3陶瓷基体,研究激光划片工艺参数与Al2O3陶瓷基体上刻槽深度与宽度的关系,以及采用调阻机加工Pt薄膜电阻,研究激光调阻工艺参数与调阻精度的关系。

著录项

来源
《科技信息》 |2007年第2期|48-48|共2页
作者
胡竹平; 施云波; 殷景华; 郭建英;
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作者单位

哈尔滨理工大学应用科学学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
激光精密加工; 激光划片; 激光调阻; Al2O3陶瓷基体;

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