基于TRIZ的高纯电子级溴化氢深度脱水创新方法

马建修; 靖宇; 杜文东; 吴祥虎

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基于TRIZ的高纯电子级溴化氢深度脱水创新方法

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溴化氢与同族的氯化氢相比,具有更强的吸湿性,能够快速结合成水合物,进而导致溴化氢对纯化装置的腐蚀.目前国内对极易吸湿气体中痕量水深度脱除方法研究相对有限,限制了高纯溴化氢在集成电路制造、医药领域的高端应用.基于TRIZ方法,通过功能分析、冲突和物场分析,运用冲突矩阵、分离原理、76个标准解、效应、进化、剪裁等工具,提出了一系列的创新方法.对吸附剂进行科学改性、简化了工艺系统,既克服了酸性气体的腐蚀性,又保持了吸附脱水性能,可以为易吸湿与腐蚀性气体的分离产业化提供借鉴.

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来源
《科技成果管理与研究》 |2021年第7期|27-32|共6页
作者
马建修; 靖宇; 杜文东; 吴祥虎;
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作者单位

绿菱电子材料（天津）有限公司;

天津绿菱气体有限公司;

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正文语种 chi
中图分类管道输送;
关键词
TRIZ; 溴化氢; 脱水; 纯化; 创新设计;

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