FSI国际发布高性价比灰化残留物去除稀释酸清洗解决方案EcoBlend？系列工艺

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FSI国际有限公司8月2日宣布推出一系列新的稀释酸溶液清洗工艺，这一名为EcoBlend？的工艺系列可有效地节约成本，并可环保地去除灰化残留物。在用于铝和钨内联清洗应用时，这一系列化学工艺为集成电路制造商提供了现在所使用的、高成本的专用化学品的替换方法。FSI EcoBlend工艺所用化学品-硫酸、

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来源
《半导体行业》 |2005年第4期|72|共1页
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无;

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正文语种 CHI
中图分类 F426.7;
关键词
清洗工艺; FSI; 酸清洗; 残留物; 高性价比; 稀释; 去除; 灰化; 国际;

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