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冲电气的首块MEMS芯片亮相

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正日本冲电气工业公司(Oki)声称制造出世界上最薄的超小型三轴加速度计组件。这只1.4mm厚的MEMS芯片传感器与控制IC集成,形成一个封装器件。该加速度计组件除能测量三轴(X、Y、Z)加速度(±3g)外,还可测量倾角和冲撞力,并能测量倾斜度和振动度,其信号输出为数字式。

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来源
《半导体信息》 |2004年第6期|P.15-16|共2页
作者
陈裕权;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类微模组件;
关键词
MEMS; 封装器件; 加速度计; 三轴加速度; 信号输出; 可测量; 数字转换器; 微加工技术; 补偿电路; 娱乐行业;

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