用于高效硅太阳电池的原子层沉积Al2O3表面钝化特性研究

孙昀; 贾锐; 孟彦龙; 王仕建; 金智; 刘新宇

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系统研究了采用热-原子层沉积技术生长的Al2O3对p型晶体硅的表面钝化特性.Al2O3膜层的钝化质量通过采用微波光电导衰减的方法证明Al2O3介质层可提供优异的表面钝化效果.此外,通过采用C-V技术和椭圆偏振光谱测试技术对Al2O3介质层的表征证明,除了薄膜层中的负固定电荷,Al2O3介质层的H的含量在钝化效果中起着关键作用.

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来源
《太阳能》 |2013年第6期|38-40|共3页
作者
孙昀; 贾锐; 孟彦龙; 王仕建; 金智; 刘新宇;
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作者单位

中国科学院微电子研究所;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
Al2O3; ALD; 硅表面钝化; 少数载流子有效寿命; 高效硅太阳电池;

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