我国准分子激光技术发展现状及趋势研究

著录项

• 来源
  《中国工程科学》 |2020年第3期|29-34|共6页
• 作者

  范元媛; 周翊; 郭馨; 王倩; 金春水; 楼祺洪;

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• 作者单位

  中国科学院微电子研究所 北京100029;

  中国科学院微电子研究所 北京100029;

  中国科学院微电子研究所 北京100029;

  中国科学院微电子研究所 北京100029;

  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033;

  中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 激光器;
• 关键词

  激光器; 准分子激光技术; 材料加工;