微型风速传感器的研究

宫占江; 王辉; 孙立凯; 李金平

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微型风速传感器的研究

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文章在分析风速传感器的结构和机理的基础上,进行了微型风速传感器的设计、结构研究、制作、测试,并对实验结果进行了分析.传感器的芯片是基于托马斯流速计原理,采用硅微机械加工技术制成的.将敏感元件制成微悬桥结构,加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,从而实现低风速风场测量.文章重点研究了微型风速传感器的基本结构、恒定温差控制电路和非线性补偿技术.通过流速与流速之间互换,实现风场测量.

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来源
《科技创新与应用》 |2018年第3期|155-156|共2页
作者
宫占江; 王辉; 孙立凯; 李金平;
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作者单位

中国电子科技集团公司第49所;

黑龙江哈尔滨 150001;

中国电子科技集团公司第49所;

黑龙江哈尔滨 150001;

中国电子科技集团公司第49所;

黑龙江哈尔滨 150001;

中国电子科技集团公司第49所;

黑龙江哈尔滨 150001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
硅微桥; 风速; 传感器;

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